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臺式勻膠機 型號:CN61-KW-5
技術參數及要求：變頻調速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
轉速：500-5000 轉/分
轉速穩(wěn)定性：±1%
旋涂均勻性：±5％
旋涂工藝階段：2 段
旋涂時間：Ⅰ速 0~18S；Ⅱ速 0~60S
整機尺寸（長寬高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸（長寬高）：425mm×500mm×190mm
電機功率：180W
適應材料：硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料
臺式勻膠機 型號:CN61-KW-5
技術參數及要求：變頻調速
基片尺寸：Φ100-Φ200mm（4 英寸～8 英寸）
轉速：500-5000 轉/分
轉速穩(wěn)定性：±1%
旋涂均勻性：±5％
旋涂工藝階段：2 段
旋涂時間：Ⅰ速 0~18S；Ⅱ速 0~60S
整機尺寸（長寬高）：425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸（長寬高）：425mm×500mm×190mm
電機功率：180W
適應材料：硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料
臺式勻膠機 型號:CN61-KW-5
